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電容式傳感器的原理，其在結構上有如下特點，這無論對使用和設汁制造上都必須充分注意才能保證發揮IFM電容傳感器的長處。
①對絕緣要求高，因此極板支持構件或極板間絕緣材料均要求用有良好絕緣性能的如石英、陶瓷、聚四氟乙烯、云母等。這是因為傳感器電容一般不大（pf級），因此是高阻抗，絕緣電阻作為其旁路，必需比一般電器的絕緣電阻（幾兆歐）高出許多，才不致于影響電容的性能。
②要能經受外界環境（如溫度、濕度、壓力等）的變化，溫度會影響極板尺寸，間隙大小以及介質介電常數;濕度對介電常數和絕緣電阻影響更大，嚴重時在極板上結露會危及正常工作;空氣壓力不僅會影響電容值，甚至會影響極板間耐壓強度;塵埃及腐蝕氣體亦都會影響正常工作。因此材料上選用膨脹小，耐溫、防腐的：結構取形狀穩定性好、能防塵、隔溫、防凝露的。
③要盡量減小極板間的邊緣場電容Ca。引線電纜的分布電容Cd，極板與周圍導體等構件構成的寄生電容Cp。因為它們使傳感器實際電容增加，使隨被測量變化的相對值下降，造成靈敏度降低，此外它們隨外界條件隨機變化，會嚴重干擾傳感器隨被測量而變化的部分。因此在結構等方面的采取有相應措施，若是非接觸測量，被測件作為一個極板時，則希望它光潔、平整、面積不小于另一極板。
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